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双层洁净无氧烘箱CLASS10~100

双层洁净无氧烘箱class10~100

详细先容

适用于半导体晶圆后段晶圆片清洗之后的软烤,硬烤,电镀工艺,采用SUS304洁净不锈钢材质,进口超高效H.E.P.A过滤器,自动开关风门结构,通过内部不断循环过滤,不断过滤内部partical快速形成无氧洁净环境,机台采用大功率三相静音低震动马达,不锈钢涡轮扇叶,独特设计涡轮结构,结合双循环风道,形成风量均匀的循环热风,实现高洁净,温度均匀的无氧烘烤环境,确保烘烤物料受热均匀,无氧化现象发生。

无尘烘箱(洁净烘箱)FDC系列

设备型号

FDC-2

FDC-3

FDC-4

FDC-5

FDC-2D

FDC-3D

控温范围

                    50~200℃(最高可订制400℃)

温度分辨率

0.1

温度波动度

 ±0.5℃

温度均匀度

                            ±1.5%(200℃恒温空载测试数据)

洁净度

class100

过滤器效率

H13~H14

内部尺寸mm

W600*D500*H600

W600*D500*H900

W800*D600*H1000

W800*D800*H1000

(W600*D600*H500)*2

(W400*D400*H400)*3

外部尺寸mm

W950*D1180*H1410

W950*D1180*H1710

W1060*D1280*H1810

W1060*D1480*H1660

W1630*D1220*H1780

W1430*D1020*H1880

层架

2PCS

4PCS

电源

AC 220V 50HZ

AC 380V 50HZ

功率

7KW

9KW

12KW

16KW

16KW

18KW

定时范围

0~99H/M/S

送风方式

单向水平送风

升温时间

RT~200℃约20min

控温方式

P.I.D

加热实行组件


结构设计

单门,控制柜位于顶部

多仓,控制柜位于侧面

内部材料

SUS304#

外部材料

SS41

外壳处理方式

烤    漆

安全保护措施

接地保护

过载保护

                                           相序保护

                                                                 超温保护

                                                                   独立限温保护

选配

7寸触摸屏HMI人机界面控制器(带历史曲线,USB转存储功能,配套PC端App及联网端口)

φ25mm/φ50mm/φ100mm测试孔

电磁门禁系统

温度校准

非标订制服务


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